一、产品名称:工业用高纯液氩
二、分 子 式:Ar
三、分 子 量:39.95
四、生产能力:6×106Nm3/a
五、产品特性:
外观与性状:无色、无味、无臭的惰性气体,本身无毒,空气中浓度高时有窒息危险。窒息症状表现为:最初出现呼吸加快注意力减退,肌肉运动失调,继尔出现判断力下降,失去所有感觉情绪不稳,全身疲乏,进而出现恶心呕吐,意识丧失、痉挛、昏睡,以致死亡。
六、产品用途:
用于焊接,不锈钢制造,冶炼以及半导体工业中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延扩散、多晶硅离子注入载流烧结。
七、包装运输:低温液体专用运输车辆。
八、储存注意事项:
储存于通风库房,远离火种、热源,气瓶应有防倒地措施。库温不宜超过30℃。罐区应备有泄露应急处理设备。
灭火方法:用水冷却火中容器。用着火环境相适应的灭火剂。可能的话将容器从火场移至空旷处。
九、质量标准:GB/T4842-2006
项目
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指标
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Ar 纯度(V/V) ≥
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99.99
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H2 含量ppm(V/V) ≤
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5
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O2 含量ppm(V/V) ≤
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10
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N2 含量ppm(V/V) ≤
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50
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CH4 含量ppm(V/V) ≤
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5
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CO 含量ppm(V/V) ≤
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5
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CO2 含量ppm(V/V) ≤
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10
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H2O 含量ppm(V/V) ≤
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15
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